|
全金属密封磁控溅射靶枪
收藏
全金属密封磁控溅射靶枪 配置特点： ◉ 安装法兰：DN100 CF（可定制DN160 CF安装法兰） ◉ 支持靶材尺寸：2/3/4 英寸 ◉ 螺纹式靶材安装 ◉ 针对磁性靶材装卸设计 ◉ 密封方式：CF金属密封/安装法兰可选配胶圈密封 ◉ 真空内长度：300 mm（可定制长度） ◉ 真空外长度：120 mm ◉ 冷却水进出口：1/4“ 卡套接头 x 2 ◉ 冷却水流量要求：> 2 l/min ◉ 束流准直设计 ◉ 独立工艺气体入口：1/4“ 卡套接头 x 1 ◉ N型电源接口：支持 DC / RF / Pulsed DC ◉ 支持工作气压：> 5 x 10-4 mbar ◉ 兼容真空度：2 x 10-10 mbar ◉ 靶头倾斜：可定制真空外原位调节倾斜功能
相关商品
|
