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4/6英寸辐射式样品台
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4/6英寸辐射式样品台 配置特点： ◉ 安装法兰DN200 CF； ◉ 加热区域：4 /6 英寸； ◉ 加热器类型：红外加热灯/W加热丝/铂铑合金加热器/石墨加热器/SiC加热器； ◉ 最高加热温度：800度； ◉ 支持样品镀膜位置± 25 mm移动； ◉ 独立手动/气动挡板； ◉ 多层热屏蔽无水冷设计；
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