脉冲激光沉积系统-PLD
磁控溅射镀膜系统-MSD
定制真空系统
超高真空组件配件
微波等离子体化学气相沉积设备
定制样品传送腔体
配置特点：
◉ 支持4英寸以下尺寸样品传送，包括旗形(flag-yepe)样品托；
◉ 腔体材质：不锈钢/铝(依据真空度要求和样品尺寸确定)；
◉ 样品架多片存储设计(基片，衬底，插拔式加热器，脉冲激光沉积靶托等可选)；
◉ 样品托射频等离子体清洗功能设计(可选)；
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