脉冲激光沉积系统-PLD
磁控溅射镀膜系统-MSD
定制真空系统
超高真空组件配件
微波等离子体化学气相沉积设备
便携式样品传送腔体
配置特点：
◉ 支持8小时离线工作；
◉ 支持1英寸以下尺寸样品传送，包括旗形(flag-yepe)样品托；
◉ 腔体材质：不锈钢/铝(依据真空度要求和样品尺寸确定)；
◉ 样品架多片存储设计(基片，衬底，插拔式加热器，脉冲激光沉积靶托等可选)；
◉ 液氮冷却载台(可选)；
◉ 便携式离子泵；
◉ 可兼容各种UHV制备设备和真空观测设备；
北京珀菲特科技有限公司
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