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射频离子源
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全金属密封射频离子/原子源 配置特点： ◉ 安装法兰：DN63 CF（可定制DN100 CF安装法兰） ◉ 密封方式：CF金属密封/安装法兰可选配胶圈密封 ◉ 支持样品尺寸：2/4/6 英寸 ◉ ICP射频冷却线圈 ◉ 针对PVD反应沉积设计 ◉ 真空内长度：300 mm（可定制长度） ◉ 真空外长度：120 mm ◉ 冷却水进出口：1/4“ 卡套接头 x 2 ◉ 冷却水流量要求：> 5 l/min ◉ 可选配原子源转换 ◉ 独立工艺气体入口：DN16CF ◉ N型电源接口：支持 DC / RF / Pulsed DC ◉ 支持工作气压范围： 5 x 10-6 mbar ~ 5 x 10-2 mbar ◉ 兼容真空度：2 x 10-10 mbar ◉ 独立挡板 ◉ 放电管支持：Al2O3，石英，PBN |
