脉冲激光沉积系统-PLD
磁控溅射镀膜系统-MSD
定制真空系统
超高真空组件配件
微波等离子体化学气相沉积设备
脉冲激光沉积靶台
配置特点：
◉ 安装法兰：CF100 (1 英寸)，CF160 (2 英寸)
◉ 真空内长度：165 mm (可定制长度)
◉ 4/5/6 x 1 或 2 英寸靶托可选
◉ 公自转设计
◉ 齿轮行星转动
◉ 自转速度 0 ~ 60 rpm
◉ 靶位可左右摆动，充分利用靶材
◉ 软件控制靶托公自转和摆动
◉ 固定式挡板，防止交叉污染
◉ 进口真空轴承和齿轮
◉ 超高真空兼容，可在 5 x 10-10 mbar工作
北京珀菲特科技有限公司
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