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脉冲激光沉积系统激光光路
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脉冲激光沉积系统激光光路 珀菲特脉冲激光沉积系统(PLD)的激光光路(optical path)通过调配光阑(mask)和透镜(focusing lens)的光程以及透镜的焦距，利用几何光学成像原理(optical imaging)使得轰击到靶材表面的光斑具有清晰的边界和均匀的能量分布。
针对不同高度的腔体激光入口，我们可提供高度可调的激光器底座支架。
紧凑型光路设计：可通过光路设计缩短光路行程，有效降低激光衰减，减少设备占用的实验室空间，适用于设计紧凑的脉冲激光沉积系统。
单腔体脉冲激光沉积系统采用标准光程设计。
双腔体脉冲激光沉积系统/激光分子束外延系统光路设计：激光被竖直抬高，通过多个反射镜配合将激光导入腔体。
拓展脉冲激光沉积系统光路设计：为提高激光器利用率，我们也可为用户现有系统定制拓展激光光路。 |
